Повышение точности управления температурным режимом в установках выращивания кристаллов
Рассматривается многосвязная система автоматического управления температурным режимом в установках выращивания кристаллов, позволившая обеспечить регулирование температуры вокруг растущего кристалла с точностью 0,05-0,1 градусов на протяжении всего ростового цикла. Проектирование системы управления основано на предварительном исследовании и выборе информационной структуры многосвязной системы с целью уменьшения взаимного влияния каналов в объекте управления и изменения его параметров в процессе роста кристалла. Исследование системы и определение стратегии управления проводится на базе динамической численной двумерной модели тепломассопереноса при кристаллизации. Управление многомерным объектом осуществляется с помощью сепаратных ПИД-регуляторов.
Year of publication: |
2010
|
---|---|
Authors: | МИХАЙЛОВИЧ, ГОНИК МАРК ; ИВАНОВИЧ, БОЕВКИН ВИКТОР |
Published in: |
Управление большими системами: сборник трудов. - CyberLeninka. - 2010, 3, p. 211-229
|
Publisher: |
CyberLeninka Федеральное государственное бюджетное учреждение науки Институт проблем управления им. В.А. Трапезникова РАН |
Subject: | УПРАВЛЕНИЕ ТЕМПЕРАТУРНЫМ РЕЖИМОМ | МНОГОСВЯЗНАЯ СИСТЕМА | ИССЛЕДОВАНИЕ ИНФОРМАЦИОННОЙ СТРУКТУРЫ | TEMPERATURE CONDITION CONTROL | MULTIDIMENSIONAL (MIMO) SYSTEM | INVESTIGATION OF INFORMATION STRUCTURE |
Saved in:
freely available
Saved in favorites
Similar items by subject
-
Find similar items by using search terms and synonyms from our Thesaurus for Economics (STW).